Neue Dünnschichtverfahren für die Erzeugung von elektrokeramischen Hochleistungs-Membranen 29. Juni 2020

Am 19.06.2020 fand der erste Funk­ti­ons­test des neuen INP Magnet­ron­sputter-Reaktor für die Depo­si­tion von elek­tro­ke­ra­mi­schen Dünn­schichten statt. Komplexe Metall­oxide mit Perow­skit­struktur, z.B. Barium Cerium Zirkonat können im Reaktor mittels eines Close Field Unba­lanced Magnet­ron­sput­ter­pro­zesses auf die am IKTS Fraun­hofer Institut für Kera­mi­sche Systeme entwi­ckelten Rohr­sub­strate für die Fest­körper-Ammo­ni­ak­syn­these (SSAS) aufge­bracht werden.