Neue Dünnschichtverfahren für die Erzeugung von elektrokeramischen Hochleistungs-Membranen

Am 19.06.2020 fand der erste Funk­tion­stest des neuen INP Mag­netron­sput­ter-Reak­tor für die Depo­si­tion von elek­tro­keramis­chen Dünnschicht­en statt. Kom­plexe Met­al­lox­ide mit Per­owskit­struk­tur, z.B. Bar­i­um Ceri­um Zirkonat kön­nen im Reak­tor mit­tels eines Close Field Unbal­anced Mag­netron­sput­ter­prozess­es auf die am IKTS Fraun­hofer Insti­tut für Keramis­che Sys­teme entwick­el­ten Rohrsub­strate für die Fes­tkör­p­er-Ammo­ni­aksyn­these (SSAS) aufge­bracht werden.