Neue Dünnschichtverfahren für die Erzeugung von elektrokeramischen Hochleistungs-Membranen
Am 19.06.2020 fand der erste Funktionstest des neuen INP Magnetronsputter-Reaktor für die Deposition von elektrokeramischen Dünnschichten statt. Komplexe Metalloxide mit Perowskitstruktur, z.B. Barium Cerium Zirkonat können im Reaktor mittels eines Close Field Unbalanced Magnetronsputterprozesses auf die am IKTS Fraunhofer Institut für Keramische Systeme entwickelten Rohrsubstrate für die Festkörper-Ammoniaksynthese (SSAS) aufgebracht werden.